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晶邊缺陷檢查設備

  • 制造廠商:KLA-Tencor
  • 購置日期:2011-05-14
  • 型號:CV300R
  • 生產(chǎn)國別:新加坡
  • 儀器類別:工藝實驗設備
  • 安放地址:上海市

跨區(qū)域科技政策:

  • 上海
  • 南京宿遷淮安徐州泰州鎮(zhèn)江揚州鹽成常州無錫南通蘇州連云港
  • 杭州衢州溫州臺州舟山金華紹興湖州嘉興寧波麗水余姚
  • 合肥毫州六安宿州阜陽黃山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安慶銅陵蕪湖馬鞍山
  • 儀器詳情
  • 該設備可用于45納米的工藝研發(fā)過程中的晶圓邊緣缺陷檢測

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  • 1. 高掃描精度, 其入射光斑小于2微米; 2. 高光學放大倍率,至少達到500倍; 3. 缺陷掃描能夠覆蓋上平面,上斜坡面,邊緣頂點,下斜坡面和下平面 5個區(qū)域.

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上海集成電路研發(fā)中心有限公司

機構介紹:

  研發(fā)中心保持以發(fā)展與中國集成電路產(chǎn)業(yè)相適應的應用技術為主線,通過與產(chǎn)業(yè)界協(xié)調(diào)發(fā)展的方式獲得持續(xù)發(fā)展能力。主要業(yè)務功能包括:(1)先進工藝技術開發(fā)和應用,為集成電路制造企業(yè)提供先進工藝研發(fā)和驗證的公共平臺,為高校和科研院所提供先進的新技術研究基地;(2)為國內(nèi)企業(yè)提供技術來源及知識產(chǎn)權保護的共同支撐;(3)為國內(nèi)設計企業(yè)產(chǎn)品開發(fā)提供特色工藝模塊和IP核;(4)為國內(nèi)設備和材料企業(yè)提供先進工藝設備和新材料的展示、評價、中試及配套工藝技術開發(fā);(5)為集成電路企業(yè)、高校和科研院所提供人才培養(yǎng)和實習的實訓基地。    研發(fā)中心堅持“以國際化合作建立基礎、以產(chǎn)學研結合集聚資源、以市場化運作獲取發(fā)展”,與一批國際著名半導體廠商、研究機構保持著緊密的合作關系。研發(fā)中心已經(jīng)擁有開放式8英寸和12英寸芯片工藝技術研發(fā)平臺,并正在建設一條具有國際先進水平的集成電路先進工藝引導線,成為國內(nèi)最先進的可與生產(chǎn)線匹配的共性工藝研發(fā)平臺。目前,研發(fā)中心已經(jīng)成為國家發(fā)改委集成電路設計服務平臺、上海市集成電路技術創(chuàng)新服務平臺、上海市集成電路制造設備和工藝材料工程化應用工程技術研究中心。研發(fā)中心擁有一支優(yōu)秀的技術人才團隊,并秉承“創(chuàng)新、高效、堅韌、跨越”的文化理念,正在逐步打造成為一流的集成電路公共研發(fā)機構,以推動中國集成電路產(chǎn)業(yè)持續(xù)快速發(fā)展。

資質(zhì)能力:

進入機構

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