表面形貌測(cè)試儀
- 制造廠商：美國(guó)Veeco公司
- 購(gòu)置日期：2001-01-01
- 型號(hào)：Dektak 6M
- 生產(chǎn)國(guó)別：美國(guó)
- 儀器類別：工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
- 安放地址：上海市
跨區(qū)域科技政策：
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上海
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- 儀器詳情
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臺(tái)階儀是一維的力反饋式計(jì)算機(jī)控制的表面形貌分析儀，具有臺(tái)階測(cè)試、形貌檢測(cè)和應(yīng)力分析等功能。在形貌檢測(cè)上，能夠給出一維曲線的表面粗糙度、峰態(tài)、曲率半徑等參數(shù)。應(yīng)力分析的基本測(cè)試原理是通過(guò)獲得沉積薄膜前后晶圓表面的曲率半徑差而獲得。計(jì)算機(jī)中的軟件提供相應(yīng)的曲線處理功能，如置平、平均、臺(tái)階校準(zhǔn)和應(yīng)力計(jì)算等。
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主要指標(biāo)：1． 測(cè)量的高度分辨率為0.1nm。2． 最大掃描長(zhǎng)度3cm。3． 臺(tái)階的測(cè)量有6.5 ，65.5 ，260 和1mm四個(gè)量程。4． 測(cè)試的力載荷從1mN到15mN。
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中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
機(jī)構(gòu)介紹:
上?？茖W(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所，是中國(guó)科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開(kāi)發(fā)為主的高技術(shù)研究所，主要研究領(lǐng)域包括微電子機(jī)械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無(wú)線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國(guó)家需求為導(dǎo)向，圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向，利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺(tái)工藝技術(shù)為支撐，以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺(tái)”兩個(gè)重大項(xiàng)目為依托，以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強(qiáng)原始創(chuàng)新，加強(qiáng)關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究，開(kāi)展集成微光機(jī)電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng)，信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動(dòng)。中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。
資質(zhì)能力：
