微流控芯片制備濕法刻蝕設(shè)備
- 制造廠商：沈陽芯源微電子有限公司
- 購置日期：2016-09-16
- 型號：KS-M200-1E
- 生產(chǎn)國別：中華人民共和國
- 儀器類別：工藝實驗設(shè)備
- 安放地址：上海市
跨區(qū)域科技政策：
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上海
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- 儀器詳情
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本設(shè)備需實現(xiàn)200mm方片基板的刻蝕、清洗，實現(xiàn)高精度線寬控制、大寬長比、高均勻性側(cè)壁斷面控制等多方面性能要求。
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暫無信息
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暫無信息
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刻蝕均勻性指標(biāo)：刻蝕ITO≤a±3%，刻蝕Mo≤a±5%，初始均勻性為a。
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電子與通信技術(shù),工程與技術(shù)科學(xué)基礎(chǔ)學(xué)科
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用于金屬材料刻蝕
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暫無信息
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1400
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100
上海大學(xué)
機構(gòu)介紹: 上海大學(xué)是上海市人民政府舉辦的綜合性大學(xué)，是“九五”、“十五”期間國家“211工程”重點建設(shè)高校，以本科教育為基礎(chǔ)和主體，重點發(fā)展研究生教育，積極發(fā)展留學(xué)生教育。擁有理學(xué)、力學(xué)、文學(xué)、歷史學(xué)、哲學(xué)、法學(xué)、經(jīng)濟學(xué)、管理學(xué)等8個學(xué)科門類。以國家級和上海市重點學(xué)科為支持點，以博士學(xué)位學(xué)科點為基本面，搭建布局和結(jié)構(gòu)比較合理的學(xué)科平臺。不斷更新學(xué)科內(nèi)容，為改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)、開拓新型產(chǎn)業(yè)、促進社會文化進步提供有力的科技支持和人才保障。
資質(zhì)能力：
