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金屬濺射金、鎳、銅、鉑等

單位介紹

  • 上??茖W(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所,是中國科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開發(fā)為主的高技術(shù)研究所,主要研究領(lǐng)域包括微電子機械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國家需求為導(dǎo)向,圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向,利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺工藝技術(shù)為支撐,以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺”兩個重大項目為依托,以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強原始創(chuàng)新,加強關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究,開展集成微光機電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng),信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。

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中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

機構(gòu)介紹:

上??茖W(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所,是中國科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開發(fā)為主的高技術(shù)研究所,主要研究領(lǐng)域包括微電子機械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國家需求為導(dǎo)向,圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向,利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺工藝技術(shù)為支撐,以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺”兩個重大項目為依托,以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強原始創(chuàng)新,加強關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究,開展集成微光機電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng),信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。

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