非金屬腐蝕(BOE，HF，等) 金屬腐蝕（Al,Au,Ag,Ni,Ti,等） KOH腐蝕

單位介紹

• 上海科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所原名中國科學院上海冶金研究所，是中國科學院所屬以信息微系統(tǒng)技術的研究與開發(fā)為主的高技術研究所，主要研究領域包括微電子機械系統(tǒng)、傳感器技術、無線信息網(wǎng)絡、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術等。該所以國家需求為導向，圍繞“電子科學與技術”、“信息與通信工程”兩大新的學科方向，利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺工藝技術為支撐，以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術平臺”兩個重大項目為依托，以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強原始創(chuàng)新，加強關鍵技術創(chuàng)新與集成研究，開展集成微光機電系統(tǒng)、天地一體化通信技術與系統(tǒng)，信息功能材料與器件、微型和新型能源技術與系統(tǒng)等研究活動。中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所。

  

單位資質(zhì)

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