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LPCVD(低壓力化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))

  • 制造廠商:英國Thermco Systems
  • 購置日期:暫無信息
  • 型號:DFS250
  • 生產(chǎn)國別:英國
  • 儀器類別:工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
  • 安放地址:江蘇省

跨區(qū)域科技政策:

  • 上海
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  • 儀器詳情
  • 退火、氧化

  • 暫無信息

  • 暫無信息

  • 1、常壓退火,溫度控制顯示精度全量程0.1°C;爐體外部三點(diǎn)控溫,各個SPIKE測量點(diǎn)都采用雙熱電偶,在一只熱電偶斷路時另一只能繼續(xù)完成工藝;工藝器期間,爐體內(nèi)部使用profile精確控溫模式。 2、程序控制單元,氣體/壓力控制精度±0.5%;

  • 電子與通信技術(shù)

  • 100片6英寸、100片四英寸基片或100片兩英寸基片退火氧化,工藝氣體N2/O2。

  • 285nm?SiO2熱氧化

  • 300元/小時,通氧氣時外加300元/小時

  • 暫無信息

  • 暫無信息

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